【今日要闻】深度解析：控制阀技术进展及其在智能制造与半导体领域的应用挑战

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控制阀控制阀是流体输送系统（工艺管道）中的控制部件，具有截止，调节，导流，防止逆转，稳压，分流或溢流泄压等功能。在实现工业自动化过程中类似机器人的手臂，通过接受调节控制单元输出的控制信号，借助动力操作去改变介质流量，压力，温度，液位等工艺参数的最终控制元件。由于其在工业自动化过程控制系统中作为终端执行元件，控制阀又称为“执行器”，是智能制造的核心器件之一。控制阀一般由执行机构和阀门组成，如果按功能可分为调节阀和开关阀，按行程特点，控制阀可分为直行程和角行程，按其所配执行机构使。🆖

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图表7：闸阀示意图 资料来源：新莱应材官网，中金公司研究部 图表8：角阀示意图 资料来源：新莱应材官网，中金公司研究部 控制阀主要通过缩小或加宽气门通道来控制气液体的体积流量，主要包含钟摆阀、蝶阀及球阀，其中：1）钟摆阀基于钟摆运动原理来控制流体的流动，当阀门处于开启状态时，气体可以自由流动，当阀门没有外力作用时，受到重力影响会向下摆动处于关闭状态，阻止气体自由流动，具有设计紧凑、振动小、启闭平稳、能有效避免产生颗粒的特🈵j9九游会[真人游戏第一品牌]点，被广泛用作控制阀，多用于真空泵和工艺腔之间；2）蝶阀。

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图表7：闸阀示意图 控制阀主要(yào)通(tōng)过(guò)缩(suō)小(xiǎo)或(huò)加(jiā)宽(kuān)气(qì)门(mén)通(tōng)道(dào)来(lái)控(kòng)制(zhì)气(qì)液(yè)体(tǐ)的(de)体(tǐ)积(jī)流(liú)量(liàng)，主要(yào)包(bāo)含(hán)钟(zhōng)摆(bǎi)阀(fá)、蝶(dié)阀(fá)及(jí)球(qiú)阀(fá)，其(qí)中(zhōng)：1）钟(zhōng)摆(bǎi)阀(fá)基(jī)于(yú)钟(zhōng)摆(bǎi)运(yùn)动(dòng)原(yuán)理(lǐ)来(lái)控(kòng)制流体的流动，当阀门处于开启状态时，气体可以自由流动，当阀门没有外力作用时，受到重力影⭐️响会向下摆动处于关闭状态，阻止气体自由流动，具有设计紧凑、振动小、启闭平稳、能有效避免产生颗粒的特点，被广泛用作控制阀，多用于真空泵和工艺腔之间；2）蝶阀阀体呈圆筒形，轴向长度短，内置蝶板，利用圆盘的启闭件往复回转90°来开启、关闭或调节气体流量的一种阀。

调节阀在小开度工作时存在的问题及对策

具体方法如下： a、在阀后加限流孔板消耗一部分压降； b、关闭管路上串联的手动阀，至调节阀获得较大理想的工作开度为止。这两种办法都是增大管路上的压降，以减小阀上压降，因为系(xì)统(tǒng)总(zǒng)压(yā)降(jiàng)ΔP系(xì)统(tǒng)=阀(fá)上(shàng)压(yā)降(jiàng)ΔP阀(fá)+管(guǎn)路压(yā)降(jiàng)ΔP管(guǎn)路。由(yóu)于(yú)ΔP系(xì)统(tǒng)不(bù)变(biàn)，当(dāng)ΔP管(guǎn)路增(zēng)大(dà)时(shí)，ΔP阀(fá)必(bì)然(rán)减(jiǎn)小(xiǎo)。②缩(suō)小(xiǎo)口(kǒu)径由(yóu)Q=C√ΔP/P可(kě)知(zhī)，C值(zhí)减(jiǎn)小(xiǎo)，Q也减小，为保持通过阀的流量不变，就必然要加大开度，这样也可避免阀在小开度工作。C值与阀的口径DN、阀座直径dN有关。减小C值的办法是： a、换一台小档口径的阀。